Минпромторг вложит 1,4 млрд рублей в создание отечественного оборудования для обработки кремниевых пластин

Минпромторг РФ выделит около 1,4 млрд рублей на создание отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Это автоматизированная линия, предназначенная для травления, очистки и сушки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм.

Тендер на разработку опытного образца уже размещён на портале госзакупок. По условиям, установка должна обрабатывать пластины диаметром до 200 мм и вмещать до 100 штук за один цикл. Также она должна работать минимум с восемью химическими реагентами, включая плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак и перекись водорода.

Новая линия призвана заменить импортные аналоги — в первую очередь американские и японские, которые сейчас используются на российских предприятиях микроэлектроники. Таким образом, проект направлен на снижение зависимости от зарубежных поставок в условиях санкционных ограничений.

Разработка полностью отечественного оборудования для обработки кремниевых пластин — важный шаг для развития микроэлектронной промышленности России. В перспективе такие установки могут быть внедрены на предприятиях, выпускающих полупроводниковые компоненты.

Средства выделяются в рамках госпрограммы по развитию электронной и радиоэлектронной промышленности. Ожидается, что опытный образец будет создан и испытан в ближайшие годы, после чего возможно серийное производство.